GB/T 30656-2023
碳化硅单晶抛光片

Silicon carbide single crystal polished wafer

GBT30656-2023, GB30656-2023


 

 

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标准号
GB/T 30656-2023
别名
GBT30656-2023
GB30656-2023
发布
2023年
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 30656-2023
 
 
被代替标准
GB/T 30656-2014
《GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片》是一种用于半导体制造和光学领域的关键材料。该标准规定了碳化硅单晶抛光片的技术要求、试验方法、检验规则和包装、运输要求等内容。 碳化硅单晶抛光片具有优异的物理和化学性质,适用于制造高性能半导体器件和光学元件。其主要特点包括高硬度、低摩擦系数、优异的化学稳定性和热稳定性、高热导率等。碳化硅单晶抛光片具有出色的...

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