ANSI/CGA G-13-2006
硅烷和硅烷混合物的存储和搬运

Storage and Handling of Silane and Silane Mixtures


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标准号
ANSI/CGA G-13-2006
发布
2006年
发布单位
美国国家标准学会
 
 
描述硅烷和硅烷混合物的储存和处理，包括适用于硅烷制造商、供应商和最终用户的实用方法。 G-13 针对半导体用户群体的圆筒和散装硅烷输送系统；包括用户现场的储存和处理以及制造工厂中互连管道系统直至分配管道的指南。建议的后退距离是根据热辐射以及由于延迟点火而产生的爆炸效应所产生的超压。

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