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修订后的测试原则,程序及设备要求如下表:尽管在上表中备注测试排列并不代表实际测试顺序,测试顺序应按照对应的测试要求文件执行。但是对比旧版,测试排列顺序变动很大,笔者认为新版的测试排列顺序可作为实际执行的测试顺序参考。基于笔者经验,洁净室及受控区域的相关测试其测试顺序实际也多按此顺序执行,压差和风量是维持洁净室或受控区域内环境的基础,房间压差的改变将影响后续测试的结果有效性。...
为此,按照惯例要对洁净室进行“工程验收”。工程验收一般分两个阶段进行,竣工验收和综合性能评价。此外,对于一个正常使用中的洁净室,为确保其始终处于设计所要求的“受控状态”,就必须进行定期或连续的监测,以考核洁净室的相关技术参数,判定其是否符合规定的状态。与其相关的一整套运行管理体系,则是保障受控环境持续正常运营的“软件”。...
级105600008790052800043951000,000级35200000293000176000014650ISO 14644-1:1999洁净室及相关受控环境/第1部分:空气洁净度等级洁净室及洁净区空气洁净度整数等级与传统分级对照表ISO等级N大于或等于关注粒径的粒子最大浓度限值(个/m3)FS 209E传统分级0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mmISO 1级102...
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