06-05 09:30-12:00
主讲人：
【内容简介】
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，可用来制作功率器件、晶体管、集成电路、光电器件等。半导体材料的价值在于其能够与多种介质有所联系，诸如它的光学、电学特征则可充分应用于器件，而且随着社会的不断进步与现代科学技术的快速发展，愈来愈多的半导体材料同现代高科技相互结合，其产品能够更好地为人类服务并且改变人类的生活。
本次研讨会，分析测试百科网将邀请行业专家，同大家分享半导体材料及器件检测技术，希望能对行业内工作者带来帮助和启发。
【日程安排】
时间
报告人
单位
报告题目
09:30-10:00
冯先进 研究员
北矿检测技术有限公司
《无机质谱技术及其在半导体材料元素检测的应用》
10:00-10:30
陈燕杰
珀金埃尔默
《ICPMS在半导体行业中的应用》
10:30-11:00
马岚
牛津仪器
《EDS及EBSD在半导体失效分析中的应用进展》
11:00-11:30
陈培
Park原子力显微镜
《原子力显微镜在半导体中计量中应用》
11:30-12:00
李超
中国仪器协会近红外分会委员
《扫描近场光学显微技术在半导体行业的应用》
【报告简介】
《ICPMS在半导体行业中的应用》
杂质金属离子是半导体行业中最为重要的监控对象，是决定制程中废品产品的一个重要原因。试看PerkinELmer公司 NexION系列ICPMS的独特设计是如何助力为半导体客户解决制程中杂质金属的检测。
《EDS及EBSD在半导体失效分析中的应用进展》
失效分析是半导体产业中不可或缺的重要环节，其结果可以帮助确认设计上的缺陷、工艺参数的不匹配或操作流程不当等问题，进而提高成品的产品质量及可靠性。能谱（EDS）及电子背散射衍射技术（EBSD）作为重要的失效分析手段，可以提供失效部件的元素及结构异常，但半导体器件的高度集成、结构细微、元素复杂及对束流敏感等因素大大限制了EDS及EBSD的应用。牛津仪器的Ultim Max能谱及cmos EBSD电子背散射分析系统，大大提高了失效附件的成分及结构分析时所需的速度、精确度的同时降低了对束流的要求，因此可应用于更多半导体样品中。本报告中我们将从能谱及EBSD的基础着手，解释在半导体相关行业中进行EDS及EBSD分析过程中的难点及相关应对方法，并通过结合实际案例来说明现代的EDS及EBSD可以在该领域中获得怎样的数据结果以及怎样获得这些结果。
【赞助商】
冯先进，北矿检测技术有限公司及国家重有色金属质量检验检测中心 研究员（正高级工程师），享受国务院政府特殊津贴专家。国家科技奖励专家库及国家科技专家库专家，有色金属智库专家，国家新材料测试评价平台稀土行业中心技术专家。ISO/TC 183 WG25委员，全国仪器分析测试标准化技术委员会委员，全国有色金属标准样品委员会委员。北京理化分析测试技术学会副理事长，光谱分会理事长，中国仪器仪表学会分析仪器分会第十届理事会理事。国家技术标准创新基地（稀土）第一届理事会理事等。《冶金分析》和《中国无机分析化学》杂志编委。主持或参与完成各级科研项目40余项，获各级科技奖励20余项。起草并发布实施国际ISO、国家和行业标准90余项，研制国家标准样品2项。获国家发明专利等知识产权10余项。发表文章60余篇，参与编写出版著作10余部。
就职于珀金埃尔默，任无机产品高级应用工程师，主要服务半导体行业客户，提供半导体行业应用方法开发及客户培训等工作。
男，昆明理工大学博士，高级工程师，硕士毕业于上海复旦大学化学系。中国电子学会超导电子学分会委员，中国仪器协会近红外分会委员，昆明市中青年学术与技术带头人。从事多年的仪器分析、有机合成、及数理统计等方面的基础科学研究，具有丰富的实验室科研及实践经验。
现为项目工程师，从事烟草化学、仪器分析、大数据等方面的研究工作。第一作者发表SCI论文10篇，IF均>2,中文核心期刊70余篇、授权国家专利80余件，省部级科技进步奖6项，其中二等奖2项，地厅级科技进步奖10项。
2012年获得上海交通大学材料学博士学位，博士研究镁合金的时效强化及变形机制。2012-2015年间在日本物质材料研究所进行博后工作，研究课题为高强韧镁合金的开发及磁性材料微结构表征，熟悉掌握FIB及纳米操作手。2015年加入牛津仪器，主要负责能谱、EBSD、OP的推广及技术支持
资深工程师，长期从事测量力学性能的纳米尺度的表征，加入帕克（Park）公司后，主要从事原子力显微镜在计量领域的应用。
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