研讨会 05-27 13:30-16:30

主讲人：

环境 先进材料

【内容简介】

优尼康科技有限公司自2012年成立，一直专注于薄膜厚度与表面轮廓测量领域，为半导体、面板、LED、消费电子、生物医疗等高科技企业和高校及研发中心提供精密测量设备与解决方案。 本次讲座，优尼康将邀请多位行业专家，结合各行业应用案例，与您探讨在微纳级别的薄膜厚度与表面轮廓形貌测量领域的相关仪器及应用。旨在帮助更多科研及工业用户了解在微纳测量领域，如何更好的把控工艺以及拓展材料测试方向。

【会议时间】2021年5月27日 13:30-16:30

【日程安排】

时间	题目	主讲人	单位
13:30---13:40	优尼康介绍	主持人
13:40---14:20	Filmetrics光学膜厚测量仪原理及应用	李扬	优尼康 总经理
14:20---14:40	KLA探针式台阶仪的原理及应用	梁博士	KLA应用工程师
14:40---15:00	Zeta多模组光学轮廓仪在薄膜厚度与表面形貌方面的应用	曾佳宇	KLA应用工程师
15:00---15:30	Horiba椭圆偏振光谱仪在膜层材料分析中的应用及原理	武博士	Horiba 应用主管
15:30---16:00	环境的稳定性对高分辨率测量的重要性	盘健冰	优尼康 副总经理
16:00---16:30	答疑和讨论	全员