MC012-XZ-150G主要参数
3.1气浮工作台 气浮形式 闭式
3.2移动精度 Z:≤0.2um/100mm
3.3光栅尺 精度 X:≤5um/150mm X:≤3um /150mm
3.4产地 国产 进口
3.5传感器 量程 6mm(可扩展)
3.6测量范围 轴 Ф1-100 mm
3.7套 ≤Ф200 mm
3.8长度 140 mm
3.9工作台移动速度 0.2-0.4mm/s
3.10机械调速(分三档)
3.11所需电源 220V 50Hz 0.5Kw
3.12所需气源压力 纯净空气≥0.5Mpa