MC012-XZ-150主要参数

  3.1气浮工作台 气浮形式 开式
  3.2移动精度 Z:≤0.2um/80mm
  3.3光栅尺 精度 X:≤5um/150mm
  3.4产地 国产
  3.5传感器 量程 6mm(可扩展)
  3.6分辨率 1/65536
  3.7测量范围 轴 Ф1-100 mm
  3.8套 ≤Ф200 mm
  3.9长度 140 mm 
  3.10工作台移动速度 0.2-0.4mm/s
  3.11机械调速（分三档）
  3.12所需电源 220V    50Hz   0.5Kw
  3.13所需气源压力 纯净空气≥0.5Mpa