1.中阶梯光栅，大面积、程序化固态检测器阵列L-PAD

2.波长范围165-1100nm，可选配120-165nm段波长，分辨率：<0.005nm（200nm）。

3.焦距800mm，色散率0.06nm/mm（200nm）

4.高效稳定40.68MHZ RF发生器，水冷

5.全自动氩气质流控制，WINICP视觉导航软件