返回 纳特斯NMT纳米压痕仪
纳特斯NMT纳米压痕仪参数指标
产品应用规格参数
| 力传感器 | Sensor A | 测量分辨率 | 1 nN |
|---|
| 测量范围 | +/- 50 uN |
| 尖端 | AFM硅探头 |
| Sensor B | 测量分辨率 | 1 uN |
|---|
| 测量范围 | +/- 20 mN |
| 尖端 | 金刚石尖端；可定制化尖端 |
| Sensor C | 测量分辨率 | 10 uN |
|---|
| 测量范围 | +/- 500 mN |
| 尖端 | 金刚石尖端；可定制化尖端 |
| 样品台 | 标准模块 | 运动平台 | XYZ |
|---|
| 运动范围 | 10x10x10 mm |
| 运动分辨率 | 1 nm |
| 编码器分辨率 | 5 nm |
| 压痕台 | 标准模块 | 位移范围 | 8 um |
|---|
| 位移分辨率 | 0.02 nm |
| 本底噪声 | 0.2 nm |
我要纠错