溅射设备:CS-200z

溅射设备:CS-200z

产品型号:CS-200z
品牌:爱发科
产品产地:日本
产品类型:进口
原制造商:爱发科
状态: 在售
厂商指导价格: 未提供
英文名称:CS-200z sputtering equipment
上市时间: 2020-11-14
优点: ​在真空条件下,氩气在DC或RF作用下产生氩离子,高能的氩离子撞击靶材 产生溅射。溅射出的原子或分子离开靶材,沉积在基板表面,形成薄膜。成膜种类:金属,合金材料,SiO2,TaN,陶瓷等。成膜面积大,均匀性好,Load-lock,托盘式,多基板尺寸,2inch-8inch兼容。
参考成交价格: 298.8万元[人民币] 查中标价
材料说明
基本参数
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厂家资料
爱发科真空技术(苏州)有限公司ULVAC
地址:苏州工业园区苏虹东路277号
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