Xiton Photonics深紫外窄线宽纳秒脉冲固体激光器参数指标

一、简介

  德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换，其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。

  多数Xiton激光器具备TEM00模式输出，保证优越的聚焦性能，适合直写等应用；单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征，长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器，固态激光器体积小、寿命更长，维护成本更低。

二、产品系列

1、IXION 193深紫外激光器

  IXION 193为全固化单频激光器，其线宽达到变换极限，可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。