MidiLab9000-CSI 电子级试剂金属杂质含量在线分析系统参数指标

MidiLab9000-CSI 电子级试剂金属杂质含量在线分析系统是一款用于半导体厂务及FAB产线中电子级湿化学品金属杂质含量的在线监测系统，提供电子级湿化学品“采样-传输-稀释-标曲-内标-进样-分析-报告”全流程解决方案。

• “多”—集中或分布式采样点20个以上

• “快”—单个样品分析和异常复测15分钟

• “好”—无阀流路设计，ppt级流路本底

• “省”—省人，全自动在线分析；省心，自动在线配制标曲，效率提升100%；省成本，高纯试剂用多少配多少，无需清洗配标容器，高纯试剂消耗量几乎降为0