性能数据
≤0.10 nm
≤0.16 nm (X-FEG)
≤0.14 nm ,100 pA (X-CFEG)
4 SDD 对称设计、无窗、遮光板保护
≤0.8 eV (X-FEG)
≤0.3 eV (X-CFEG
1.8×109 A /cm2 srad (X-FEG)
2.4×109 A /cm2 srad (X-CFEG)