EQS二次离子质谱探针参数指标

技术参数：

·质量数范围：   300amu，500amu，1000amu

·检测器：         离子计数探测器、正负离子探测器、10⁷ cps

·质量过滤器：   3F四级杆

·杆直径：         9mm

·最高加热：      250℃

·离子源：         电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝