超高真空TPD工作站参数指标

 参数

·带脉冲离子技术检测器的三级过滤四极质谱仪（Hiden 3F/PIC）
·质量数范围：1~300、510、1000amu
·快速质谱数据采集：＞500数据点/秒
·样品可加热到1000℃