IG20 Ar/O2离子枪参数指标

参数

·能量范围：         500eV ~ 5KeV

·最大电流：         800nA

·最小光斑尺寸：   50μm

·离子源寿命：     ＞1000小时

·法兰规格：        斜楔法兰DN-35-CF

·气源压力：        0.1~0.5bar至一个大气压