HPR-20 EGA逸出气体在线分析质谱仪参数指标

参数

·质量数范围：     1～200 amu（标准配置），300，500amu（选配）

·响应速度：       300ms内对于气体浓度的变化做出反映

·扫描速度：       100amu/s

·最小扫描步阶： 0.01 amu

·取样压力：       100mbar～2bar（标准配置），1mbar～30bar（选配）

·检测限：          0.1-1ppm，5ppb (3F四极杆)

·稳定性：         24h以上，峰高变化小于±0.5%

·进样流量：      1～20sccm