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| 物镜种类*1 | 极高分辨率 (UHR) | 高分辨率 (HR) | 样品高倾斜 (HT) | 冷冻传输 (CR) | 高衬度 (HC) |
| 物镜 | URP型 | HRP型 | HTP型 | CRP型 | HCP型 |
| 分辨率 | |||||
| 点分辨率 | 0.19 nm | 0.23 nm | 0.25 nm | 0.27 nm | 0.31 nm |
| 线分辨率 | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.1 nm | 0.14 nm | 0.14 nm |
| 加速电压*2 | 160 kV，200 kV*1 | ||||
| zei小步长 | 50 V | ||||
| 步长 | 50 V minimum | ||||
| 电子枪 | |||||
| 发射方式 | ZrO/W(100) | ||||
| 亮度 | ≧4×108 A / cm2 / sr | ||||
| 真空度 | ×10-8 Pa 级 | ||||
| 束流电流 | 0.5 nA以上（束班直径 1 nm） | ||||
| 稳定度 | |||||
| 高压电源 | ≦1×10-6/min | ||||
| 物镜 | ≦1×10-6/min | ||||
| 物镜 | |||||
| 焦距 | 1.9 mm | 2.3 mm | 2.7 mm | 2.8 mm | 3.9 mm |
| 球差系数 | 0.5 mm | 1.0 mm | 1.4 mm | 2.0 mm | 3.3 mm |
| 色差系数 | 1.1 mm | 1.4 mm | 1.8 mm | 2.1 mm | 3.0 mm |
| zei小焦距步长 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.8 nm | 2.0 nm | 5.2 nm |
| 束斑尺寸 | |||||
| TEM 模式 | 2 to 5 nm | ７ to 30 nm | |||
| EDS 模式 | 0.5 to 2.4 nm | - | - | 4 to 20 nm | |
| NBD 模式 | - | - | - | ||
| CBD 模式 | 1.0 to 2.4 nm | - | |||
| 电子束衍射 | |||||
| 衍射角 | 1.5 to 20 mrad | - | - | ||
| 取出角 | ±10° | - | - | ||
| 倍率 | |||||
| MAG 模式 | ×2,000 to 1,500,000 | ×1,500 to 1,200,000 | ×1,200 to 1,000,000 | ×1,000 to 800,000 | |
| LOW MAG 模式 | ×50 to 6,000 | ×50 to 2,000 | |||
| SA MAG 模式 | ×8,000 to 800,000 | ×6,000 to 600,000 | ×5,000 to 600,000 | ×5,000 to 400,000 | |
| 相机长度 | |||||
| 选区电子衍射 | 80 to 2,000 | 100 to 2,500 | 150 to 3,000 | ||
| 高色散衍射 | 4 to 80 | ||||
| 高分辨率衍射*2 | 333 mm | ||||
| 样品移动 | |||||
| X,Y | 2 mm | 2 mm | 2 mm | 2 mm | 2 mm |
| Z | ±0.1 mm | ±0.2 mm | ±0.2 mm | ||
| 倾斜角 | |||||
| X / Y*3 | ±25/±25° | ±35/±30° | ±42/±30° | ±15/±10° | ±38/±30° |
| X*4 | ±25° | ±80° | ±80° | ±80° | ±80° |
| STEM*5 | |||||
| 明场线分辨率 | 0.2 nm | - | - | ||
| 分辨率 | - | - | |||
| EDS(Si(Li)型检测器)*6 | |||||
| 固体角(30mm2) | 0.13 sr. | 0.13 sr. | 0.13 sr. | *8 | 0.09 sr |
| 固体角(50mm2)*7 | 0.24 sr. | 0.28 sr. | 0.23 sr. | ||
| 取出角(30mm2) | 25° | 25° | 25° | *8 | 20° |
| 取出角(50mm2)*7 | 22.3° | 24.1° | 25° | ||
*1 : 订购时请指定物镜种类
*2 : 加速电压为80、100、120 kV时，请使用加速管短路开关（选配件）
*3 : 使用双倾斜样品杆(EM-31630).
*4 : 使用高倾斜夹头(EM-21310).
*5 : 扫描图像观察装置为选配件
*6 : EDS为选配件
*7 : 使用JEOL的50mm2的EDS检测器
*8 : 不能安装EDS
1.点分辨率：0.19nm
2.线分辨率：0.14nm
3.加速电压：80, 100, 120, 160, 200kV
4.倾斜角：25
5.STEM分辨率：0.20nm