JEM-2200FS 透射电子显微镜参数指标

参数指标

物镜种类*1	极高分辨率（UHR）型	高分辨率（HR）型	样品高倾斜（HT）型	样品冷却（CR）型	高衬度（HC）型
分辨率
点分辨率　晶格分辨率	0.19 nm 0.1 nm	0.23 nm 0.1 nm	0.25 nm 0.1 nm	0.27 nm 0.14 nm	0.31 nm 0.14 nm
能量分辨率	0.8 eV（零损失 FWHM）
加速电压	160 kV，200 kV*2
zei小步长　能量位移	50 V zei大3,000 V（以0.2V为步长）
电子枪
发射体	ZrO/W(100) 肖特基式
亮度	≧4×108 A／cm2 ・ sr
真空度	×10-8 Pa 级
探针电流	探针直径为１ nm ，在0.5 nA以上
稳定度
加速电压	≦1×10-6／min
物镜电流	≦1×10-6／min
过滤器电流	≦1×10-6／min
物镜
焦距	1.9 mm	2.3 mm	2.7 mm	2.8 mm	3.9 mm
球差系数	0.5 mm	1.0 mm	1.4 mm	2.0 mm	3.3 mm
色差系数	1.1 mm	1.4 mm	1.8 mm	2.1 mm	3.0 mm
zei小焦距步长	1.0 nm	1.4 nm	1.8 nm	2.0 nm	5.2 nm
束斑尺寸
TEM 模式	2 ～ 5 nm				７～30 nm
EDS 模式	0.5 ～ 2.4 nm		1.0 ～2.4 nm	-	4 ～20 nm
NBD 模式			1.0 ～2.4 nm	-	-
CBD 模式			1.0 ～2.4 nm		-
电子束衍射
衍射角(2α)	1.5 to 20 mrad or more				-
取出角	±10 °				-
倍率
MAG 模式	×2,000 ～ 1,500,000	×2,000 ～ 1,200,000	×1,500 ～ 1,000,000		×1,200 ～ 600,000
LOW MAG 模式	×50 to1,500
SA MAG 模式	×10,000 ～ 800,000	×8,000 ～ 600,000	×8,000 ～500,000		×5,000 to 400,000
能量过滤像有效视场大小	80 mm dia. on final image plane (film) when 10 eV is selected 25 mm dia. on final image plane (film) when 2 eV is selected
相机长度
选区电子衍射	150 ～ 1,500mm	200 ～ 2,000 mm		250 ～ 2,500 mm	300 ～ 3,000 mm
EELS 散射
狭缝上	1.2 μm／eV, 200 kV
zei终像平面	50 ～ 300 μm／eV, 200 kV
样品室
移动量(XY / Z)	2mm／0.2mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm
倾斜角(X / Y) *3	±25°／±25°	±35°／±30°	±42°／±30°	±15°／±10°	±38°／±30°
倾斜角(X)*4	±25°	±80°	±80°	±80°	±80°
EDS*5
固体角*6	0.13 sr			-	0.09 sr
取出角	25°			-	20°

*1 : 订货时请选择物镜种类。
*2 : 加速电压80、100、120 kV时，可使用加速管短路开关（选配件）
*3 : 使用双倾样品杆
*4 : 高倾斜样品台使用
*5 : EDS为选配件
*6 : 安装30mm2 检测器时的数值

　　分辨率：0.14nm Lattice

　　加速电压：80 to 200 kV

　　放大倍数：x50 to 1,500,000

　　内置式能量过滤器

　　高衬度成像

　　三维重构

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