点分辨率:0.17nm
线分辨率:0.1nm
STEM :0.14nm
电子枪 :肖特基式热场发射枪
亮度 :7x108A/cm2sr以上
束流强度:0.5nA 以上/1nm
放大倍数:x60 - x1,500,000
能谱立体角:0.13sr