分辨率:0.2nm (晶格像)
加速电压:40kV ~ 120kV
放大倍率:
连续放大模式:x200~x600,000
低倍模式:x50 ~ x1,000
图像旋转:
倍率范围:x1,000 ~ x40,000
旋转角度:±90º (15º每步)
数字相机:1,024 x 1,024象素
样品台:测插式优中心测角台
样品台移动:X/Y:±1mm Z:±0.3mm
倾斜角度:±20º(±60º可选)
功能:图像导航功能和样品位置记忆功能