质量数范围:1-100 amu,1-200 amu,1-300amu
响应时间:毫秒级
zei小检测分压:5×10-11 Torr(FC);5×10-14 Torr(CDEM)
检出限:≤10ppm(FC)
操作范围:从常压到超高真空
操作温度:≤70℃
取样压力:≤5 bar(有特殊需求者可订制)
质量分析器:四极杆(Quad)
检测器:法拉第筒(FC),电子倍增器(CDEM)可选
离子源:电子轰击 (EI)源
技术指标
质量范围: 1 - 200 amu ( 300 amu 可选)
离子源: 电子轰击离子源
质量分析器:
四极杆式
通道数: 16通道(31通道可选)
质量轴稳定性: < ± 0 . 1 amu / 7 2 h
检测器:
法拉第检测器(法拉第/电子倍增器双检测器)
进样系统: 多路旋转阀
真空系统: 前级泵和涡轮分子泵
测试限:
10ppm(法拉第检测器);10ppb(电子倍增器)
检测组分数量: 无限制
稳定性:
连续30天RSD≤0.5%(基于1%Ar)