赛默飞K-Alpha+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 系统参数指标

　　高精度的表面化学表征：

　　单色化XPS 快速准确地鉴别表面元素组分、化学态及微小特征分析;结合独特的自动中和技术可对各种绝缘样品进行快速XPS 分析

　　高分辨的XPS 深度剖析：

　　小束斑XPS 配合新型离子枪，通过逐层表面剥离方法(离子刻蚀)，测量样品表层元素和化合物随深度分布的信息。

　　高灵敏度XPS 化学态成像：

　　多达128 道的探测器快照式获得各个扫描点的元素 成分和化学态信息, 从而获得样品表面高灵敏度化学态图像，如浓度空间分布图、薄膜厚度图。