Agilent 7500系列电感耦合等离子质谱仪参数指标

　　Agilent ICP-MS技术的应用领域包括：

　　● 环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析；

　　● 半导体材料分析

　　● 玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；

　　● 地质学研究；

　　● 生物食品及医药临床研究；

　　● 核材料分析

　　● 石油化工样品分析；

　　● 法医应用与研究；

　　● zei近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。

　　ICP-MS分析特性：

　　● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素

　　● zei低的检出限（低至ppq级）

　　● 分析效益/成本比zei佳

　　● zei宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度

　　● 谱线zei简单、干扰zei小，准确度和精密度好

　　● 需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1〜3分钟/样品）

　　● 检测模式灵活多样

　　半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：

　　固体：Si；GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等

　　液体：超纯水；HF；HNO3；HCI；H2SO4；H2O2；氨水等

　　气体：SiH4；TE0S；NF3；N2等

　　Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：

　　Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。

　　● 对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是唯一的分析方法。

　　● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等

　　● 常用有机溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等

　　● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂——丙酮、甲醇等。