FEI “Quanta系列”环境扫描电子显微镜参数指标

技术参数：

1.分辨率:

　二次电子:

　　高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV

　　高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项)

　　低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV

　　环境真空模式 3.0nm @ 30kV

　背散射电子 4.0nm @ 30kV

2.样品室压力最高达2600Pa

3.加速电压200V ～ 30kV，连续调节

4.样品台移动范围

　Quanta 250: X=Y=50mm

　Quanta 450: X=Y=100mm

　Quanta 650: X=Y=150mm