当使用晶体面积小的能谱仪,需要高束流来满足足够的计数率,但会损害空间分辨率。超大面积能谱仪X-MaxN 150可以在低束流即高空间分辨率下获得足够多计数,因此可以成功实现纳米材料的检测与分析。
右图:纳米结构在5kV下的X-射线面分布。计数率相同时,150mm2的能谱仪所需束流更低,意味着空间分辨率足够高可以分辨出纳米尺度的变化,且极大地减弱了样品的辐照损伤。相反,10mm2的能谱仪则需要更高的束流,却会严重损害空间分辨率,使得面分布图像模糊不清。