COXEM供应小型离子溅射镀膜机,型号KIC-1A,具有稳定的离子流和,操作设置简单,可以产生均匀颗粒尺寸和均匀的镀膜厚度。
性能指标:
快速抽真空,小于2分钟
预设的快速操作
容易的条件设置
自动真空控制
自动通气消除真空,,当镀膜程序执行完成后
样品高度调节方便,(马达驱动升降,调节工作距离)
靶的尺寸:直径50mm(Au/Pt)
电源:220V,60Hz/50Hz ,500W
离子流控制范围:1-7mA
外形尺寸:380(W) x 250(D) x 330(H) mm
样品室内径:100mm
旋片式机械真空泵:100L/min