分析性能指标

检出限：ppb级别

稳定性：<1%@2hrs

精密度：RSD<1%

光学系统

自动恒温的光学系统

中阶梯光栅二维分光系统

焦距：380nm

光栅：52.91l/mm，64度闪耀，Zerodur

入缝：50μm，100um

光学分辨率：<7pm@200nm

探测器

防溢出的科研级背照式面阵CCD

百万像素

读出噪声：2.0e-rms

动态范围：>10⁵

气体消耗量

光学系统智能吹扫

正常分析是氩气消耗量为12L/min

重量和尺寸

尺寸：900×750×650mm

重量：约90kg

Rf电源

具有自主知识产权的自激式全固态射频电源

输出功率连续可调

频率：27.12MHz

功率：>1.6kw

功率稳定性：<0.1%

频率稳定性：<0.01%

电源要求

220VAC±10%，（50~60）Hz

功耗：整机<4.5kw