1.zei大扫面范围:100×100×15µm;
2.XY方向上5×5mm范围内机动的样品定位;
3.带集成电容闭环传感器的扫描器;
4.红外激光(1300nm)可以测量光敏感样品;
5.自动测量包含自动的激光和光电二极管定位以及测量参数的设定;
真正意义上的非接触式扫描模式和特别安全悬臂针尖-表面着陆程序
可扩展的数字化模块控制器。