·从SEM (SEI和BEI) 获得形貌和平均原子数
·从EDS分析获得元素成分
·从拉曼光谱获得化学成分和物质鉴定
·从拉曼光谱获得物理结构(晶体的及力学数据)
·从阴极发光 (CL) 和光致发光 (PL) 获得电子及物理结构信息
·同时做扫描电镜 (SEM) 和拉曼光谱
用SEM可方便地确定感兴趣的区域。然后可以用拉曼光谱快速确切地鉴定这些区域。
·来自相同样品位置的能谱 (EDS) 和白光成像
与SEM成像和拉曼光谱一样,能谱、逐点扫描成像和白光成像均可从相同样品位置获得。
·阴极发光 (CL) 和光致发光 (PL) 光谱
用于拉曼光谱采集的光学元件与光致发光 (PL) 和阴极射线发光 (CL) 光谱完全兼容。前者使用激光作为激发源,而后者使用电子束。每种技术都能够揭示样品在电子学和物理学两方面的信息,而阴极射线发光对样品成分和残留应力的细微变化十分敏感。