LSX-213型激光进样系统参数指标

参数指标

激光系统

　　213 nm固态Nd:YAG激光、激光能量：4.5mJ/脉冲

　　输出能量：0-100%

　　脉冲宽度：5ns

　　脉冲频率：1-20HZ，Q开关控制

　　烧蚀斑点：5μm-300μm ：10-200μm(软件光圈控制)，所有光斑均具有相同的能量密度

　　密闭、充氮保护的激光器、机械和热隔离的激光光路。稳定、可靠

　　光学观察和成像系统：

　　计算机控制的60-600倍显微成像，自动变焦的数码成像

　　<5μm的光学分辨率

　　高亮度LED阵列照明，即使在zei大放大倍数下也能获得zei佳的观察效果

　　不管是反射光还是透射光，亮度0-100%可调

　　配置偏振镜系统

　　密闭、机械和热隔离成像系统，成像的稳定，清晰和长寿命

取样系统：

　　高精度X-Y-Z三维移动样品台，0.25μmμ步进分辨率

　　配置高精度质子流量计，可选氮气作为载气，以提高分析灵敏度

　　标配样品室：52mm(φ)×50mm(H),另外多种规格可选

　　独立的取样室设计，zei小的空气残留和zei快的冲洗时间

　　可拆式石英样品室窗，清洗和样品维护方便、简单

　　配置微小薄片样品架

　　可伸出的样品室，样品更换方便、安全、样品室复位后可自动吹扫

　　样品池：

　　采用坚硬牢固的高密度聚甲醛树脂材料(性质类似于TFM)，对样品没有吸附，

　　具有zei优良的样品传输效率，减少样品传输引起的分流效应

　　样品室内的气体已“湍流”的形式传输样品，保证样品在样品池内的任何位置都具有均一的气体敏感性和均一的冲洗完整性

　　软件系统：

　　Digilaz Ⅱ 软件：

　　Windows 2000、XP、NT操作系统，可安装在ICP-MS(ICP)的计算机上的激光控制软件与ICP-MS(ICP)完全同步

　　同一屏幕显示激光所有状态及参数，样品台位置，载气流量和照明控制等

　　“Map”功能可观察整个样品区域，并导视微区位置

　　多种烧蚀模式：包括单点、多点、直线、分段直线、光栅式扫描和深度剖面等，满足各种样品形状和分析要求

　　测量烧蚀斑点或样品表面的大小

　　控制聚焦和样品移动

　　图像的捕获和注解，在线帮助、维修、维护数据库

　　GeoPro数据处理软件(选择件)

　　技术规格：

　　仪器大小：69cm×46cm×51cm

　　数量：约75kg

　　电源要求：100-240 VAC

　　自带循环冷却水系统和安装推车