超短脉冲 193nm 波长
超短脉冲长度: < 4 ns
超级均质化平顶光束
>15J/cm2能量密度剥蚀所有样品
光学衰减器调节能量0-100%输出
独有的同步动态剥蚀功能,利于控制和深度剥蚀
30个快速切换光圈 3um 到 > 250um 超宽范围
<2um高分辨率视频采集系统,动态图像显示(FOV)
100mm*100mm XY方向移动距离,步进分辨率<1um
超大50 mm 的Z 轴聚焦行程,步进分辨率<0.1um
带导航技术的视频采集系统
光学系统采用 加布罗 超级减震结构
HelEx 双体积样品池设计,独家技术
所有气体密封设计,保证安全