CETAC 飞秒激光剥蚀系统 Excite Pharos参数指标

样品种类

半导体材料；透明和半透明类样品；石英；骨头/化石；金属基材料等。

主要性能参数

■ 激光源为Light Conversion-Pharos 2mJ或Pharos SP 1.5 mJ

■ 激光波长1028nm、257nm、206nm可选

■ 脉冲宽度<190fs-10ps

■ 脉冲能量可达2mJ

■ 可调脉冲频率1-200kHz（步进1Hz）

■ 波长转换选项广（谐波发生器、OPA、NOPA、连续发生器）

■ 只经历一次光学折射以减少脉冲展宽

■ 每个波长都有独立的光路

■ 独立的视频和激光光学控制单元，能够更好的查看样品剥蚀点

■ 连续可调光斑大小1-65μm

■ 兼容HelEx II双体积双气路涡流样品池

■ 集成的冷却系统减少实验室空间