技术参数

射频发生器(RF)：

(1) 电路类型：他激式，由两支金属氧化物场效应管MOSFET管组成的推挽放大电路

(2) 工作频率：27.12MHz±0.05%

(3) zei大功率输出：1400W

(4) 点火功率: ≤700W

(5) 输出功率稳定性：≤0.1%

(6) 电磁场泄漏强度：距机身30cm处，电场强度E<2V/m

进样装置：

(1) 输出工作线圈：内径25mm、3匝

(2) 炬管：三同心型石英炬管，外径20mm

(3) 雾化器：同心型Meinhard式雾化器，外径6mm

(4) 雾室：双筒型雾化室，外径34mm

(5) 氬气流量计与载气压力表规格

等离子气流量计：100-1000L/h(1.6-16L/min)

辅助气流量计： 10-100L/h (0.16-1.66L/min)

载气流量计： 采用质量计并由计算机控制，(0-5L/min)分辨率0.02L/min

载气稳压阀： 0-0.4MPa

分光器:

(1) 光路：Czerny-Turner装置

(2) 焦距：750mm

(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线面积：80×110mm 刻线数：3600线/mm

(用户可选用刻线面积：80×110mm  刻线数为2400线/mm )

(4) 分辨率：<0.01nm

(5) 波长测量范围：

      光栅3600线/mm波长测量范围：180-500nm

      光栅2400线/mm波长测量范围：180-800nm

(6) 步进电机驱动zei小步距：0.0006nm

(7) 出射、入射狭缝：20μm

(8) 反射镜规格：(78×105×16)mm

(9) 透镜Φ30mm、1:1成像

(10) 分光器充氩气后，分析谱线可选用<190nm谱线

测光装置：

(1) 光电倍增管规格：R212UH或R928

(2) 电倍增管负高压：200-1000V 稳定性<0.05%

(3) 光电倍增管电流测量范围：10-4-10-9A

(4) 信号采集方式：V/F转换 1mv对应100Hz

整机技术指标：

(1) 测量波长范围：180-500nm

(2) 分辨率：≤0.01nm

(3) 测量精度相对标准差RSD：≤1.5%

(4) 测量稳定性相对标准偏差RSD：≤2%