日本电子JBX-6300FS ...
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电子枪ZrO/W 肖特基型
描画方式描画方式
加速电压25kV (选配), 50kV, 100kV
样品尺寸zei大200mmΦ的晶圆片, zei大 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小样品。
样品尺寸2000μmＸ2000μm
样品台移动范围190mmX170mm
套刻精度≦±9nm
场拼接精度≦±9nm
扫描速度zei大 50MHz

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