光谱范围:160~800 nm(标配)VUV选件可扩展至120 nm
离子刻蚀全息光栅:2400线/毫米
实际光学分辨率:≤ 0.019nm
发生器频率:40.68MHz 晶体控制
观测方式:垂直径向观测
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