锂漂移硅探头（液氮制冷）

锂漂移硅探头（液氮制冷）

硅漂移探头（电制冷）

硅漂移探头（电制冷）

硅漂移探头（电制冷）

硅漂移探头（电制冷）

分辨率

127eV

133 eV

126 eV

129 eV

133 eV

133 eV

有效面积

10mm²

30 mm²

10 mm²

10 mm²

30 mm²

60 mm²

X射线管

fX-SEM^TM

X-Beam^TM

阳极类型

底窗穿透型

侧窗型

靶材料

Ag, Mo, & W

Ag, Cu, Mo, Rh & W

加速电压

10-35kV

0-50kV

束流

0-100μA

zei大1mA

阳极束斑大小

<500μm

10, 40μm

准直器大小

200μm, 500μm, 1000μm(或其他)

zl的多毛细管聚焦光学系统

滤波片

根据需求可安装

根据需求可安装

冷却需求

传导冷却，不用风冷

功率>10瓦时，风冷；其余传导冷却

控制性/安全性

可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示；与SEM互锁、键控电源开关、与高压电源互锁、高压警示

可控kV/μA、X射线开关、kV/μA显示、内部互锁阀；键控电源开关、高压警示