微区扫描探针平台系统主要技术参数：

　　1. 扫描范围(X、Y、Z)：70mm×70mm×70mm

　　2. 扫描驱动分辨率：8nm

　　3. 位移偏码：线性，零滞后

　　4. 位移：闭环定位

　　5. 线性位移编码分辨率：100nm

　　6. zei大扫速：2mm/s

　　7. 测量分辨率：16位@100kHz

　　8. 计算机通讯方式：USB接口

　　9. 控制与分析软件：Windows 32位MDI控制与分析软件

　　10. 环境池：TriCellTM(选配件)

　　11. SECM电化学微池：µTriCellTM (选配件)

　　12. 长距显微镜：VCAM2(选配件)

　　13. 三维图形软件：IsoPlotTM (选配件)

　　14. 微区技术：SECM、SVP(SVET)、SKP、LEIS(可选配)