RF 发生器

- 自激式，频率：27.12MHz

- RF输出功率：0.7-1.7KW

- 功率效率：>70%，功率稳定性<0.1%

- 等离子体自动点火

- 待机模式(低功率，低气流)

- 全计算机控制

- 空气冷却(不需外冷)

- 固态电路

质量分析器

- 双聚焦Mattauch-Herzog扇形磁场质量分析器

- &ldquo;固态设计&rdquo;：永磁分析器(无螺线管)，无须扫描

- 连续分离离子束到质量分析器的焦平面上

• 100%的占空因数

• 离子从脉冲调制到分析器上没有信号损失

- 从5～240amu全质谱范围完全同时测量

检测器

- DCD检测器安装在质量分析器的焦平面上

- 4800双阶通道复盖5～240amu全质谱范围

- >9个数量级的线性动态范围

- 各通道按其俘获信号强度自动设置zei佳积分时间

- 非破坏性读数

尺寸和重量

- 仪器(高×宽×深)为1604×1673×892mm(63×66×35英寸)

- 底座(宽×深)为1470×779mm，(58×31英寸)

- 重量约675kg，(1490磅)

环境条件

- 室温：18-25℃(67-77°F)

- 相对湿度：<80%，不冷凝

- 大气无腐蚀性蒸气和高灰尘污染

- zei高海拔高度约2000米(6562英尺)

排风要求

- 等离子体：2×250m3/h(>150 cft/min)，分别可在零至zei高量间调节

氩气要求

- 纯度≥4.8(99.998%),压力7.5bar(109psi)

- 耗费：10-18 L/min

冷却水

- 压力4 bar(58psi)

- 流速zei少1.8 L/min， 18℃

电源要求

- 208-230V±10%,50/60HZ

- 功率耗费约6.5 KVA

- 30-32A线保险(慢熔保险丝)