技术参数：

●分析元素：4Be(选配)，5B~92U
 ●X射线分光器：高灵敏度型zei多5台
 ●zei大样品尺寸：100mm□×5mmt
 ●X射线检出角：52.5o
 ●二次电子分辩率：6nm(EPMA-1600),5NM(EPMA-1610)