FOUNDRY-MASTER Xline台式直读光谱仪参数指标

波长范围：165-780nm

CCD分辨率：13pm/像素

线色散率：0.9nm/mm

焦距：350mm

光栅刻线数：3000条/mm

重量：100Kg

体积（长×宽×高）：380×740×800mm