样品台移动范围：开环大扫描器90*90um

样品尺寸：zei大样品尺寸2英寸

定位检测噪声：开环大扫描器X-Y<5A RMS, Z<0.3 RMS

1. Temperature control From room degree to 80 

温度控制： 室温 到80度 
2. Data length 16 bits, all channels 
传输数据长度： 16位，所有通道 
3. Image pixel resolution Up to 1024×1024 
图像像素分辨率： zei大1024×1024 
4. Scan range 90μmwith large scanner 
扫描范围： zei大90μm 
5. Resolution Mica atomic resolution or graphite atomic resolution 
分辨率： 云母原子,或石墨原子 
6. Noise lever Vertical, less than 0.1 &Aring;RMS 
Lateral, less than 1&Aring;RMS 
噪音: 垂直方向,少于0.1&Aring;RMS 
水平方向,少于1&Aring;RMS