技术参数(机械部分)：

　　1. XY扫描器：100µm×100µm(闭环)

　　2. Z扫描器： 25µm

　　3. 水平度：100µm线扫描垂直偏差不超过±2nm

　　4. 样品台移动范围：10mm(X/Y)，14mm (Z)

　　5. 成像方法：离子电导ICM(液态环境)和AFM(大气以及液态环境)

　　6. 倒置光学显微镜需单独选配。XE-Bio可与主流倒置显微镜产品完全兼容。

　　技术参数(电子部分)

　　1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP

　　2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率

　　3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素

　　4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接

　　5. 符合CE认证标准