参数

　　50μ mXYZ 扫描器

　　类型： 改进三脚架

　　XY 方向线性度：<1%

　　XY 方向范围： >50μ m

　　XY 方向分辨率：小于10nm 闭环回路，小于1nm 开环回路

　　XY 作动器类型：压电陶瓷

　　传感器类型： 应变计形式

　　Z 方向范围： >16μ m

　　Z 方向线性度： <5%

　　Z 方向噪声感应：5nm

　　Z 方向噪声反馈：0.2nm

　　Z 作动器类型：压电陶瓷

　　传感器类型： 应变计形式

　　15μ mXYZ 扫描器

　　类型： 改进三脚架

　　XY 方向线性度：<1%

　　XY 方向范围： >15μ m

　　XY 方向分辨率：小于3nm 闭环回路，小于0.3nm 开环回路

　　XY 作动器类型：压电陶瓷

　　传感器类型： 应变计形式

　　Z 方向范围： >7μ m

　　Z 方向线性度： <5%

　　Z 方向噪声感应：5nm

　　Z 方向噪声反馈：0.1nm

　　Z 作动器类型： 压电陶瓷

　　传感器类型： 应变计形式