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l 装有一个带集成电容传感器的可更换扫描器，可获得的扫描范围：100x100x12 µm
l 双扫描模式(DualScan)是NT-MDT独有的技术，它采用一个可更换的底部扫描器(100x100x12µm)和一个顶部扫描器(100x100x10μm)，使总的扫描范围达到：200x200x22μm;
l XY非线性：校正后，峰峰值0.05%，在整个扫描范围内，X-Y平面的定位精度保持在10-20纳米内;
l NTEGRA的控制器和机械部件可以在高达5 MHz的高频下工作，因此仪器可以使用高共振频率的悬臂，从而得到更加完美的图像;同样这使得原子力声学显微镜(AFAM)的应用成为可能。该系统可以用于研究高电阻材料，例如半导体上的薄膜绝缘层、DLC和压电薄膜、导电聚合物等。
l 低热漂移和热稳定性(特殊材料：钛)
l 友好的操作软件和强大的脚本语言控制——NT-MDT独有
l 光学垂直方向分辨可达0.4um (使用高数值孔径的头部), 可倒置观察样品——NT-MDT独有
l 整体设计的液体池，可选配加热装置和超小液体池(200微升)
l 纳米刻蚀操作软件
l 整体设计的防磁、防电、防声屏蔽罩
l 低真空操作环境可选
l 内置湿度、温度传感器，LCD液晶显示
l 通气孔设计可提供气体控制
l 对样品尺寸无限制