扫描器技术资料:
X-Y扫描范围:
100*100微米(高电压模式);
10*10微米(低电压模式)
高电压模式分辨率:闭环:2nm,开环:0.2nm
闭环线性度:0.1%
Z扫描范围:
10微米(高电压模式);
1微米(低电压模式);
分辨率:0.16纳米(高电压模式),
0.02纳米(低电压模式)。