测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)

　　扫描方式：样品扫描

　　测量头部：AFM和SPM(全内置自动切换)，可选配液相模式和纳米压痕测量头

　　zei大样品尺寸：直径20mm，厚度10mm

　　XY样品定位装置：移动范围5×5um，软件控制电动定位

　　XY样品定位装置zei小步进：0.3um

　　扫描范围：100×100×10um(三维全量程闭环控制扫描器)，3×3×2um(低电流模式扫描器)

　　XY方向非线性度：≤0.1%(闭环控制扫描器)

　　Z方向噪音水平(带宽10~1000Hz时的RMS值)：闭环控制扫描器(典型值0.03nm，zei大0.04nm)，低电流模式扫描器(0.02nm)

　　激光光路系统：电动调节，全自动准直

　　视频显微系统：软件控制电动变焦和连续变倍，软件控制变换视野，分辨率2um

　　样品温度控制：室温~150℃