NanoWizard 4 BioScience生物型原子力显微镜参数指标

技术参数：

　　1. 采用PI平板压电扫描器，无管式压电管的bow效应，能同时进行光学显微镜与原子力显微镜量测

　　2. zei大扫描范围：100×100×15微米(闭环)

　　3. 探针扫描设计，液相量测情况下不会损坏压电陶瓷

　　4. 分辨率：云母晶格图像(接触模式、高解析模式)

　　5. 针尖定位噪声水平(RMS)

　　大气条件下：垂直方向小于0.08nm，水平方向小于1nm(闭环);

　　液相条件下：悬臂偏移小于0.3nm(弹性系数0.03N/m，温度20摄氏度)

　　6. zei先进的电容式探针位置传感器，全程xy扫描线性化达0.03%，保证探针的重复定位与长时间稳定定位

　　7. 智能马达进针，漂移跟踪设计消除样品加热膨胀的影响

　　8. xyz三轴扫描方向硬件线性化设计提供了高端的量测性能

　　9. 采用850nm波长激光源，不会影响匹配倒置光镜的光学量测

　　10. 探针弹性系数的热噪声方法自动校正

样品台移动范围： 200mm×200mm或可选更大

样品尺寸： 直径大于140mm或可选更大

定位检测噪声：小于0.15nmRMS in XY （closed loop）