技术参数:
闭环扫描管:XY > 90 μm,Z > 7.5 μm
开环扫描管:XY > 5 μm, Z > 1.5 μm
样品尺寸: X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm
电动Z轴载物台:Z轴行程: 18mm
光学系统: 摄像头: 轴线彩色CCD,带电动变焦
视场: 1.24mm x0.25mm (电动变焦,10x物镜)
分辨率:<2μm,标准10x物镜(50x物镜<0.75μm)
电子电路:20位DAC控制器,100kHz、±10v ADCs,数字反馈器件
系统软件:用于数据采集和分析的SPMLab™ v7.0,Windows® XP
样品台移动范围:Z轴行程: 18mm
样品尺寸:X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm
定位检测噪声:<2μm,标准10x物镜