技术参数：
测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/ 静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)
扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描
测量头部：AFM和SPM，可选配液相模式
zei大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度10mm。针尖扫描：样品无限制
XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um
光学系统：根据客户需求配置
样品温度控制：室温~130℃